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而在各类设备的市场占比方面,据悉北方华创的氧化/扩散/热处理设备在存储产线份额达32%,例如在华力微和华虹无锡的份额分别为6.3%和3.8%;而刻蚀和薄膜沉积相对份额较小,比如在介质刻蚀和硅刻蚀设备领域该公司均有布局,硅刻蚀设备市场中,北方华创占有15%市场份额,目前用于浅槽隔离的介质刻蚀设备已量产,硅刻蚀设备也已量产,金属刻蚀设备也有布局,并拥有中芯国际、华虹、华力等国内一流客户;PVD设备方面,以长江存储30k产能产线招标为例,北方华创中标阻挡层PVD 3台,占比18%;其他如晶圆直径小于150mm的IC制造邻域,北方华创也可以小批量提供立式扩散炉/退火炉/氧化炉/合金炉;同时,在晶圆清洗机和单片清洗机方面,该公司也均有布局,不过虽获得了国内大客户订单,但营收规模尚小。
订单方面,其湿法装备的新订单中今年增加了华虹集团 ICRD、中车、台湾力晶、湖南楚微、新昇、瀚天天成、华为等用户,新增订单中台湾力晶是中国大陆以外的首个湿法装备订单,新增订单中包括12英寸单片设备,新增订单中有中车IGBT、瀚天天成碳化硅外延等产线。截至今年4月30日的一季度业绩报告期末,至纯科技已经取得近40台正式订单,已经完成近20台设备装机,包含湿法刻蚀、清洗、金属剥离、晶圆回收等多个工艺。应用的工艺中包含晶背晶边清洗、大硅片清洗、三代半导体刻蚀、特殊应用刻蚀等应用。而目前,总体来看,以至纯科技为代表的国内设备厂商在清洗环节的布局已颇为完备,国产替代的机会较大。

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