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而在各类设备的市场占比方面,据悉北方华创的氧化/扩散/热处理设备在存储产线份额达32%,例如在华力微和华虹无锡的份额分别为6.3%和3.8%;而刻蚀和薄膜沉积
相对份额较小,比如在介质刻蚀和硅刻蚀设备领域该公司均有布局,硅刻蚀设备市场中,北方华创占有15%市场份额,目前用于浅槽隔离的介质刻蚀设备已量产,硅刻蚀设备也已量产,金属刻蚀设备也有布局,并拥有中芯国际、华虹、华力等国内一流客户;PVD设备方面,以长江存储30k产能产线招标为例,北方华创中标阻挡层PVD 3台,占比18%;其他如晶圆直径小于150mm的IC制造邻域,北方华创也可以小批量提供立式扩散炉/退火炉/氧化炉/合金炉;同时,在晶圆清洗机和单片清洗机方面,该公司也均有布局,不过虽获得了国内大客户订单,但营收规模尚小。
控片主要用来监控机台的制程能力是否稳定、生产环境是否洁净。通过使用控片, 可以对离子注入、薄膜沉积、光刻、刻蚀和研磨等制程中的例如电阻率、薄膜沉积 速率、刻蚀速率、研磨速率以及均匀性等进行监测。简单来说,需要量测的就属于 控片。测试方式包括离线测试和在线测试两种。离线测试是指在正式生产之前,先 用控片测试,通过控片的测试结果来看机台的工艺是否符合标准。在线测试是指控 片和产品一起进入生产线,通过控片*后的效果来判断这一批生产是否符合标准。

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